第332章 我們就差這張牌了

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　　其他專家固然沒有辦法從專業的角度聽懂其中的難度，但光是憑借直覺就能明白這有多難了。

　　用一個擁有近乎無窮解空間的、典型的NPhard問題，這些形容詞和最后的名詞，聽起來就覺得困難。

　　近乎無窮解，在數學知識大約等于數學系大一大二學生的工業專家們看來，和近乎無法求解沒有區別。

　　坐在魏哲邊上的專家，看他的臉色也能看出端倪，看魏哲一副驚呆的樣子，就知道林燃又做了什么驚天動地的結果出來。

　　梁孟松舉手，林燃點了點頭：“梁工，你說。”

　　“林總，”梁孟松的語氣很沉重，“您從算法層面為我們提供了解決方案，現在我們從理論上能做到。

　　但是在現實世界中要到，我們需要有精度足夠高的模板，有了這樣的模板，我們才能用NIL光刻機去印所謂的超構透鏡，才能擁有傳統路線光刻機所需的鏡頭。

　　我解釋一下，我們要制造的，是帶有5納米級別結構的超構透鏡母版模板。

　　而要制造這個母版，我們需要一臺電子束寫入機。”

　　“這東西，就像一支筆。”梁孟松努力用最簡單的語言解釋，“光刻機，像一臺巨大的印刷機，可以把模板上的圖案，一秒鐘復印幾十次。

　　而電子束寫入機，就是那支用來制作印刷母版的、最原始的筆。

　　你的筆有多細，決定了你的母版有多精細。

　　而我們，我們國產的、最先進的電子束寫入機，能穩定刻畫的最小線寬，是65納米。

　　用65納米的筆，去雕刻5納米的圖案，這是不可能的。”

　　多電子束寫入機是一種用于高精度圖案轉移的先進半導體制造設備，通過使用多個電子束同時在晶圓上寫入圖案。

　　梁孟松說的更常見一點的名詞叫掩膜版，光透過掩膜版在硅片上印上圖案，掩膜版的精度決定了硅片上集成電路的精度。

　　用來制作掩膜版的機器就叫多電子束寫入機，它一次只能制作一塊掩膜版，適用于小批量、高復雜性的圖案制造需求。

　　總結來說，沒有最先進的電子束寫入機，就無法制造出用于生產最先進芯片的掩膜版。

　　它是整個半導體制造產業鏈的“源頭”，其戰略重要性，絲毫不亞于EUV光刻機本身。

　　全球最先進的、用于EUV級別的多電子束掩膜寫入機，其市場被奧地利的IMSNanofabrication公司，現已被英特爾絕對控股。

　　另一家霓虹公司NuFlareTechnology也在研發，但市場份額和技術應用廣度上都有差距，這是東芝的子公司。

　　國內的申海微電子旗下也有子公司在負責研發，但精度是90nm到65nm之間。

　　無論是哪個技術路線的光刻機，都需要有掩膜版，在母版上面去印刷。

　　會議室里，剛剛因數學突破而燃起的樂觀氣氛，瞬間被澆滅了。

　　大家都是業內人士，很清楚梁孟松說的是事實。

　　沒有最頂尖的筆，再完美的設計圖也只是一張廢紙。

　　林燃說：“這不是問題，我們雖然沒有最先進的筆，但是有次一級的筆。”

　　林燃看向臺下的楊德人說道：“楊院士，你來說說吧。”

　　隨即把舞臺交給楊院士。

　　楊德人站起來，自豪道：“諸位，很榮幸的告訴各位，就在三個月前，由我們浙大的余杭所牽頭，聯合國內相關單位，歷經十余年年攻關的、我國第一臺具備商業化能力的高精度多電子束寫入機，已經完成了最終測試。

　　我們以華國古代最偉大的書法家之名，將其命名為——羲之。”

　　（我國首臺6nm的電子束光刻機羲之，來自HZ市政府官網，不知道為啥國內媒體沒咋報道，完全沒熱度）

　　“羲之和傳統的光刻機不同。”楊院士接著說道：“它不需要掩膜版，而是通過計算機控制，用一道能量極高的、被聚焦到極致的電子束，直接在硅基材料上書寫電路。

　　因此，它可以隨時修改設計，反復調試，特別適合芯片研發初期的驗證，以及制造像超構透鏡母版這樣、獨一無二的超高精度元件。”

　　最后楊院士深吸了一口氣，報出了那兩個讓所有人屏息的數字：“它的性能指標，最小穩定線寬為8納米，電子束定位精度為0.6納米。”

　　“這不可能！定位精度0.6納米？這精度是不是太夸張了？”

　　“0.6納米？比老美的精度還要更高？”

　　“那豈不是意味著我們能造0.6納米的透鏡？臥槽，這回是光源跟不上鏡頭了。”

　　楊院士的臉上是掩飾不住的自豪，這可是我們浙大搞的！

　　“為了讓大家理解，我繼續用筆來做比喻。

　　8納米線寬，是羲之這支筆，在宣紙上能寫出的穩定清晰的那個筆鋒。

　　而0.6納米精度，則是這支筆的筆尖，本身是由幾根更加纖細的、幾乎達到原子尺度的狼毫組成的。

　　你必須擁有一根足夠銳利的筆尖，才有可能去駕馭和書寫出極細的筆鋒。”

　　林燃直視梁孟松：“梁工程師，我想你應該想到了。”

　　此時的梁孟松已經兩眼放光：“用這支8納米的筆，我們確實沒有辦法畫出5納米的母版。

　　8納米的極限，意味著我們無法穩定、大規模地制造出完美的5納米結構。

　　良率會是一個災難。

　　這可是一次性要畫超過10的14次方個天線結構，這確實做不到。

　　但是我們可以用這支筆，去設計一套更聰明的筆法。

　　我們能用DUV光刻機通過多重曝光技術，造出遠比它極限更低的電路尺寸。

　　同樣的我們可以借鑒在晶圓制造上已經成熟的自對準四重曝光的思路，把它反過來，應用在母版制造上！

　　我們用羲之，先刻畫出一個16納米周期的基礎圖案，然后通過多次、精準的沉積和蝕刻，在母版上，自我生長、復制出周期為4納米的結構！

　　這在工藝上，極其復雜，但在理論上，是完全可行的！”

　　林燃鼓掌道：“沒錯，數學層面的問題我幫你們已經解決了，母版的制造需要靠各位的努力，它絕對不會容易，但也絕對能夠實現。

　　最后一步的刻錄，有從佳能進口的NIL光刻機來幫我們做到！

　　一旦成功，依托華國的制造能力，我們將激活史無前例的7nm制程。

　　這段時間霓虹給我們轉讓的，已經充分成熟的28nm制程技術，加上這套超構透鏡，我們足以攻克穩定的14nm光刻機。

　　而結合國內已經充分成熟的雙重曝光技術，7nm的制程也不在話下。

　　如果不考慮良品率，結合四重曝光，極限是3.5nm。

　　已經離國外最先進的2nm只有一步之遙了。”

　　林燃的話讓臺下的專家們響起了雷鳴般的掌聲，過去誰敢想，現在3.5nm的制程我們都能摸一摸了。

　　這可不是什么過去追求的去美化半導體生產線，而是全國產的3.5nm半導體生產線。

　　同時也代表著，一旦攻克了EUV光刻機所需的極紫外線光源，華國和國外最先進的2nm在光刻機領域已經沒有差距了。

　　這意味著什么？

　　芯片戰爭的徹底失敗，阿美莉卡在過去近十年里，想盡一切辦法、聯合所有盟友、旨在扼殺華國高科技產業的芯幕徹底被撕毀，遭到了無可挽回的失敗。

　　納瓦羅以為給華國的是陷阱，實際上是最后一張牌，華國手上拿著的是2346，就等著你送一張5過去，阿美莉卡人親手將這張5，當成一張廢牌，扔到了牌桌中央。

　　阿美莉卡人親手將這張黑桃5，當成一張廢牌，扔到了牌桌中央。

　　這也意味著未來，不會再有盟友配合阿美莉卡去對華國做什么技術圍堵，這是把自己的產業拱手送給華國。

　　技術上的南北戰爭結束，長期以來，全球被劃分為掌握核心技術的技術北方（以阿美莉卡為首）和負責應用/制造的“技術南方”。

　　華國擁有3nm光刻機，意味著它已經從“南方”徹底畢業，成為了“北方”陣營里一個新的、強大的、且不受舊國王控制的獨立王國。

　　從產業上說，一旦擁有同等級別的制造能力，華國將立刻成為全球第三個、也是市場規模最大的高端芯片代工中心。

　　不僅華國本土科技產業會迎來爆發，一旦獲得了無窮無盡的、廉價的、最先進的國產芯片供應，華國在人工智能、超級計算、生物科技、自動駕駛等所有依賴尖端算力的領域，都將迎來一次爆炸性的增長。

　　成本的下降和算力的解放，將催生出無數新的應用和商業模式。

　　在這樣的世界里，所有國家都將不得不重新思考自己的定位和未來。

　　在座的專家學者們未必能想到那么多的意義，但他們絕對明白歷經千辛萬苦后，這對華國有多難，越難意味著越重要，意味著最后的收獲越大。

　　本來因為無法回家過年而心理上的沮喪一掃而空，現在大家都躊躇滿志，就等著開干了。

霓虹栃木縣宇都宮市佳能光學技術研究所　　“小川先生，我理解你們的難處，但是，商業合同就是契約，我們必須尊重契約精神。”

　　會議室里，華國進口團隊的負責人劉主任，臉上掛著微笑，但語氣卻不容置疑。

　　他面前的佳能副總裁，全球營銷負責人小川和人滿臉難色。

　　“劉主任，”小川和人擦著額頭的汗：“我們真的已經在盡最大努力了。

　　我們的FPA1200NZ2C生產線，已經是三班倒，24小時不停機。

　　但您上個月，又追加了二十臺的緊急訂單，而且要求在明年四季度前全部交付，這在物理上，是不可能的。”

　　“沒有什么是不可能的，小川先生。”劉主任從容地從公文包里，拿出了另一份文件：“這是我們最新的補充協議，我們愿意，在原有合同價的基礎上，上浮30，作為‘產能加急費’。

　　并且，所有款項，在協議簽訂后，48小時內，以美元，一次性付清。”

　　華國給自己預計的公布時間點是2026年的四季度，目前手上一共有5臺來自佳能的FPA1200NZ2CNIL光刻機。

　　這也是佳能所有的存貨，其中還包括從海力士退貨回來的一臺，全部都被運到了申海。

　　NIL光刻機的生產制造相關技術都教給了華國，能教的都教了。

　　只是華國還是秉持著先進口再自己慢慢摸索生產的原則。

　　華國的目標就是，在自己能生產出同級別的NIL光刻機前，我從佳能獲得的產能要足夠我撐到那個時候。

　　對佳能來說，被華盛頓和東京按著頭出售自己的靈魂和未來，佳能覺得屈辱，因為這筆交易不但是賣產品，還是賣技術。

　　但從華國來的美元還是很香的。

　　至少今年佳能的財報會非常漂亮。

　　讓一直遲遲無法盈利，無法并入財報的NIL光刻機項目能夠帶來大幅盈利，整個資本市場都會對佳能另眼相看，如果能獲得哪怕只是一部分ASML的市場，佳能的市值也起碼能翻倍。

　　海力士和鎧俠這兩家用NIL光刻機來造存儲芯片的廠商，反饋都不樂觀，其中海力士甚至還退了一臺給佳能。

　　只有華國不但不退貨，甚至在一到貨就不斷催他們出貨，而且是有多少要多少。

　　小川和人的眼睛，瞬間睜大了。

　　上浮30，并且是用現金一次性付清，這對于任何一家上市公司來說，都是無法拒絕的誘惑。

　　同時小川和人內心感慨道，還是華國人識貨，高麗人太不識貨了。

　　“另外，”劉主任繼續加碼，“關于配套的納米壓印樹脂和模板基板，我們知道貴公司的阿美莉卡供應商那邊，程序繁瑣，沒有關系。我們未來半年的需求量，是這個數，”他伸出五根手指，“五百噸，我們同樣愿意支付20的溢價。

　　貴公司只需要下訂單，所有的物流、倉儲，我們自己的運輸集團會派專機來解決。

　　你們只需要，把貨備好就行。”

　　小川和人徹底說不出話了。

　　這已經不是商業采購了，這是一種近乎于掠奪的、不計成本的掃貨。

　　華國的“識貨”固然讓他感到振奮，但他也無法理解，為什么華國人，會為了NIL這種尚未經過大規模量產驗證的技術，就投入如此瘋狂的賭注。

　　他作為商人的本能告訴他，面對這樣的“豪客”，他唯一需要做的，就是點頭，然后讓財務部門準備好接收一筆天文數字的現金。

　　但他內心還是覺得惴惴不安，總感覺有哪里不對勁。

　　我們和海力士、鎧俠已經研究這么多年，在基礎的存儲芯片上都沒辦法解決良率的問題，難道華國能解決？

　　他們應該都還沒有生產測試，哪里來的信心？

　　小川和人內心有無數的疑惑。

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