當然此時這幫人心頭在癢也沒用,畢竟這份資料還是屬于別人的,他們唯一能做的只是繼續往下研究。
緊跟著資料中介紹的是euv光源輻射能的收集問題。
介于euv光源發出的輻射波長極短,物質對其的吸收十分強烈,所以完全無法使用之前的透射式光學系統對輻射進行收集,所以這也的確是euv光刻技術的一大難點,不過他們研發的掠入射式光源收集系統已經基本上快要解決這個問題。
接下來在研究這份資料給出的方案時,尼康的研發人員發現這份資料給出的方案其實跟他們的研究非常近似,卻又更加完善。一些微小的細節,能更好的解決這套系統在euv光源的短波長下引發的光學問題。
這無疑給了他們新的思路跟啟示。可就在他們甚至忘記了時間流逝,一邊不停探討一邊津津有味的看到最關鍵的地方時,尼瑪,這些能容竟然再次被直接的胡亂掩蓋掉了!
沒錯,就在最關鍵最讓人期待的時候,資料上只剩下一排排參差不齊的粗黑杠!那些重要的內容全部被埋在了黑杠之下!這還當真是——坑爹啊!
對這幫研發人員來說,這就好像一個上了年紀的男人,好不容易被一個如狼似虎的女人勾起了性趣,兩人天雷地火般的進行到最關鍵的時候,女人一把推開男人,直接穿上褲子準備走人一樣讓人難以接受啊!多被這么玩弄幾次,直接痿了的可能性都有啊。
甚至有人都想拿出個硬幣。把那些粗黑杠掩去的地方給刮開都好。不過這畢竟不是彩票,顯示器更是公家財務。刮壞了是要賠的,這才讓一幫人止住了怨念。
不過這樣一來也讓很多人雖然明知道這份材料接下來的部分可能會更加精彩。更有價值,但是都不想繼續研究下去了。這太坑人了,每次都是在最關鍵的部分動刀子,不帶這么玩人的吧?
當然這種情緒也只能在心頭抱怨。畢竟大家都是在工作,自然不能隨便撂擔子,不過話說回來,拋去資料關鍵點被粗暴的劃去這一點不談,這份資料對這些研發人員的吸引力也是極大的,起碼能給他們開拓思路不是?
接下來關于如何提升光源強度等等問題都進行了詳細論述。甚至在資料最后還給出了光掩模板的無瑕疵解決方案,當然最關鍵的部分都同樣被掩蓋了。
不過即便是這樣也沒有人敢小覷,或者說所代表的華夏在光刻機研發進程了。不過在跟研發人員一起把這些資料大概的瀏覽跟探討后,山口達也完全不明白王正宇這是賣的什么藥了。
有了這些技術,似乎完全有能力將自己的光刻設備生產出來。雖然新型的euv光刻技術的關鍵部分都被隱去,讓他無法判斷這些資料是否真的完全解決了這些難點。但是生產現在有的193nm沉浸式光刻技術的光刻機卻是完全沒有了任何技術障礙。他為什么專門找到尼康來購買光刻機設備?這人該不會是無聊到專門跑到日島來調戲尼康的吧?
想到不久前的會面,自己似乎還激動的嘲諷過對面那個年輕人把光刻技術想的太簡單了,現在看來不是他把光刻技術想的太簡單了,而是自己把他想的太簡單了。
兩份資料帶給他的震撼加上滿腦子的疑問。甚至讓山口達也都忘了時間。他甚至沒有感覺到他竟然已經在研發部內呆了十六個小時,現在已經是第二天的清晨了。
“山口先生,關于兩份材料的分析報告已經出來了。您看是不是讓大家都回去休息一下了。熬了一整夜大家也都累了。”研發室的負責人藤田元一開口說道,順便將一份整理好的材料遞給了正坐在沙發上發呆的山口達也。
“哦?都一整夜了?現在幾點了?”山口達也這才從沉思中回過神來。開口問道。
“已經是早上八點了?哦,好久沒覺得時間過的這么快了。”山口達也感慨了句,隨后道:“好了。趕緊讓他們都去休息吧。不過藤田先生您恐怕還得受下累,稍微休息下。等會跟我一起到今天的董事會上做下匯報。”
“沒問題。等我先安排一下今天的工作,安排好后咱們隨時都能出發!”藤田元一點頭答應道。
“好的。趕緊去吧,董事會九點就要開始了。麻煩藤田先生了!”山口達也點頭道。
等到藤田忙完研究部的事情,兩人稍事休息后,山口達也便首先帶著藤田元一趕到了苅谷道郎的辦公室內,簡單的跟苅谷道郎將兩份資料的研究結果做了一次簡短匯報。
“什么?你們的意思是,憑借那兩份資料就能判斷華夏人在光刻技術已經完全不落后于我們了?”聽完匯報的苅谷道郎表現的相當震撼,似乎整個人都不大好了,
這到可以理解,其實包括山口達也在內的研發人員們誰不震撼?無非是他們是一步一步的研究資料,心神一半被資料的內容所吸引,另一半他們的震驚程度是一個逐漸上升的過程,就好像溫水煮青蛙一般,所以不像苅谷道郎直接聽到結果后表現的如此失態罷了。
“實際上不落后已經是最樂觀的估計了。如果第二份材料上那些被劃去的關鍵部分,真的能夠解決問題的話,那就能說明華夏人在euv光刻技術方面的研究已經超過了我們!”藤田元一用技術人一貫的嚴謹姿態開口道。
“超過我們?”苅谷道郎澀聲道,“你是說很有可能的光刻機制造技術已經超過了我們?那么那個年輕人專門跑來尼康購買我們的s620d到底是個什么意思?”
“或者正如他說的那樣,只是不想自己去浪費那個時間吧,似乎也只有這個解釋!”山口達也攤了攤雙手道。
苅谷道郎閉上雙目沉默了片刻,穩定了心神后,才睜開眼說道:“那么實際上他只需要給我們193nm沉浸式光刻技術的資料就已經足夠打動我們了,為什么還要給我們第二份資料,你們想過沒有?”
“嗯?”山口達也聞言一愣,或者是一直在被兩份資料中蘊含的技術所震驚著,在加上一宿未睡腦袋變的遲鈍了,他竟然還真沒想過這個問題,片刻后才猶豫的問道:“您的意思是?”
苅谷道郎沒有直接回答山口達也的問題,而是轉向藤田元一問道:“藤田先生,請你給我們一個專業的判斷,您剛才描述的第二份關于euv光刻技術攻關難點的技術資料那些關鍵部分對我們euv光刻技術現在的研發進程有多大幫助?或者說這份資料完整版對我們尼康來說有多大價值?”
苅谷道郎的問題讓藤田元一猶豫了片刻,仔細思考了一番才字斟句酌的答道:“因為關鍵部分被隱去,所以這個答案我不好肯定的回答。但是那份資料基本上涉及到了euv光刻技術的所有技術難點,其中很多正困擾著我們。如果說那份資料的關鍵部分真能完美的就解決這些問題,那我只能說擁有這份資料的完整版本,我們的新型euv光刻機將能在最晚三個月內便生產出來。”
說道這里藤田元一頓了頓,思考了片刻又繼續道:“不過根據資料的前文內容,我覺得那些隱去部分可能真的是解決辦法的關鍵。而且解決這些難點,涉及到了起碼數百項還未申請過專利的技術,如果我們搶在阿思麥之前將這些技術轉化為我們的專利的話,您應該明白這對尼康以為著什么。而且鑒于euv光刻技術的突破,對微電子產業的巨大推動作用,這份資料完整版的價值我真不好估量。”
“好吧!我明白了!”苅谷道郎抬起手按了按太陽穴,站起身道:“時間差不多了,今天的董事會也要開始了,跟我一起去吧。藤田元一先生,我需要您等下在董事會上做個匯報,做完匯報將你現在的分析也跟各位董事們講一講,辛苦了!”
“好的,苅谷總裁!”藤田元一點了點頭道。
一小時后,藤田元一在尼康董事會會議上,將一通宵的研究結果,在董事會上做了匯報,同時按照苅谷道郎的吩咐,將自己對這份資料對尼康的價值判斷再次匯報了一遍。
當藤田元一的匯報完畢,整個會議室瞬間的靜默后,便開始沸騰起來,除了已經得過消息的苅谷道郎跟參與了資料分析的山口達也還能保持相對平靜的神色外,其他董事自然都是各種懷疑跟震驚。
畢竟尼康作為世界上僅有的兩家能生產高端光刻設備的企業之一,在業內的領頭地位一直是牢不可破的。現在突然蹦出個華夏的企業,竟然擁有了比他們更先進的技術,這確定不是愚人節的玩笑么?
如果不是藤田元一是尼康euv光刻設備方面的首席工程師,恐怕直接開罵的人都有了。(