溫成嶺跟隨羅佳離開辦公室，來到光學部地下三層。

在那里，溫成嶺見到了一部機器，一部驗證原型機，型號為超光刻初代。

“這是一臺光刻機？”

溫成嶺停下腳步，疑惑的問，同時露出震驚的表情。

商用型號光刻機會進行外包裝，而這臺是初代機，所以內部元器件都是裸露在外的，透過落地玻璃，可以一覽無余。

溫成嶺震撼于這臺機器的設計，它個體很大，擁有多達六個機臺，其中三個是測量機臺，另外三個是標準曝光臺。

更多機臺可以提高光刻機的工作效率，每小時產出更多硅片。

然而增加機臺的同時，也對機械結構以及機臺的減震能力，提出了更高要求，難度系數呈幾何倍數增加，所以絕大多數光刻機的機臺都只有兩個。

光刻機是半導體領域的皇冠，需要無塵環境，此刻羅佳他們站在實驗室外面，隔著一層玻璃。

“要不要進去看一看？”羅佳問道。

“真的可以嗎？”溫成嶺微微一怔，顯得非常激動。

“當然了，我們去換防塵服。”羅佳笑著說。

溫成嶺在北美上學和工作的年代，中美關系還不像如今這樣緊張，所以他是識貨的，在斯坦福大學的實驗室里，見過許多光學領域最前沿的科技。

時至今日，北美方面已經不允許華夏留學生，進入關鍵性科技領域學習了，以防止技術外泄，半導體，生命科學，航空航天，都屬于被禁的領域。

但溫成嶺雖然見多識廣，卻從未見過這樣夸張的光刻機設計，一臺機器，同時在六個機臺上展開全自動作業，效率應該會非常高吧。

溫成嶺一邊換上白色防塵服，一邊暗暗在心里想，世界科技史上，從來就不缺乏精彩絕倫的創意，然而把創意變為現實，卻是非常困難的，星辰科技的初代機，應該還是用來做驗證，完成度應該不會太高才對。

光刻機這個東西難到了什么程度呢？

全世界只有一家公司能做euv，也就是荷蘭asml。

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紫外光時代，全球有上百家企業出沒在光刻機領域，那個時候真可謂百花齊放，精彩紛呈。

然而好景不長，隨著深紫外光技術的推出，原本一百多家制造光刻機的企業，銳減到三家，除了佳能，尼康，asml之外，其他所有企業全部慘遭淘汰。

從這也不難看出，一次技術進步，會給全行業帶來多么嚴重的洗牌。

所有人都死了，還活著的三家自然賺的盆滿缽滿，他們吃著火鍋，唱著歌，大把鈔票自然就來了，生活簡直不要太愜意。

可惜時間又過了幾年，隨著半導體技術不斷推陳出新，深紫外光刻也漸漸變的力不從心。

于是光刻機領域開始了第二輪技術競賽，而這次技術競賽的結果，是佳能和尼康出局，荷蘭asml成為最后的贏家。

全球唯一能夠制造極紫外euv光刻機的超級怪獸，就此誕生！

這樣的慘烈競爭，簡直可怕！

要知道，尼康和佳能絕不是吃素的，他們都是這個世界上最厲害的光學企業。

溫成嶺正思考著，實驗室的密封門忽然在他面前打開了。

他笑了笑，在進入實驗室之前對羅佳認真的說道：“羅總，我的專業是激光，也自信能夠搞定光刻機的光源問題，但您應該也知道，一臺光刻機僅僅有光源是不夠的，其他數以千計的核心零部件，我可就無能為力了。”

這算是給羅佳打預防針了，他說這話的意思是，我能幫你把超紫外混合激光搞出來，但激光之外的事情，我也是無能為力，還要看星辰科技自己的力量。

羅佳只是點頭笑了笑，并沒有說什么。

兩個人很快來到這臺機器跟前，羅佳淡淡的說，“這就是我們的初代機，它共分為十三大結構，分別是激光發生器，光束矯正器，能量控制器，光束形狀調整器，遮光器，能量探測器，掩膜版，掩膜臺，物鏡，測量臺，曝光臺，封閉框架，磁懸浮減震。”

羅佳指著機器，介紹這臺復雜的組成。

雖然聽名字似乎很簡單，但就算用腳后跟想也能明白，作為半導體行業的王冠，又怎么可能簡單呢。

就拿這臺光刻機的物鏡來說，如果你以為那是一個類似單反鏡頭東西，那就完全錯了。

asml公司euv型光刻機采用的物鏡，高達一米八四，寬度接近七十公分，是德國光學巨頭卡爾.蔡司集團，與激光巨頭亞琛集團聯合制造的。

物鏡多少錢？

抱歉，無論羅佳掏多少錢，都買不到這套物鏡。

從成本的角度估算，這套物鏡的成本應該在一千萬美元左右，其復雜程度和精確程度，足以被寫入光學發展史。

羅佳給溫成嶺看的，就是這么個東西，它巨大而精密，充滿科幻電影般的未來感。

而且asml的euv是第三代，羅佳這個是第四代，超紫外光，技術復雜程度還要更高。

“你們...竟然已經做到了這種程度！？”溫成嶺激動的瞪大眼睛，發出不可思議的聲音。

剛才距離遠，又隔著玻璃，所以沒太看清楚，還以為是個樣子貨。

如今走進無塵實驗室里，溫成嶺才恍然發覺，這臺四代光刻機的完成度，已經如此之高！

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