1991從芯開始 第149章 工藝才是最重要的
文森蒂在遠芯科技園呆了一天，他興致勃勃地參觀了遠芯除了無塵車間的以外的幾個部門，特別是在見識了移動通訊部門后，他表示大概也只有內地的遠芯才能在短短兩年內便組建如此龐大的研發小組了。
當然，他是不知道整個內地就只有遠芯這么一號……而且還只能稱得上半個團隊。
第二天中午，蘇星河也回到科技園，以遠芯董事長的身份陪著文森蒂吃了頓午餐。期間蘇星河并沒有對提起合作的事——他需要用實際行動為兒子站臺，表示兒子才是整個遠芯的實際掌舵人。
“老蔣那邊在tb展會的時候相關企業接觸了一下，我們暫時可以確定，如果僅從設備來說，其實我們現在就能湊出一個晶圓廠來，就譬如目前的實驗室。”
蘇遠山和父親走在一段長達三十米的葡萄綠蔭架下，這段葡萄架是蘇遠山去年就強烈要求移栽，說走在葡萄架下一來陰涼，二來結果的時候還能便走邊摘來吃，一想就美滋滋。
他想得倒是挺美，卻忘了這玩意最容易招引蚊蟲，要是運氣差點，走一圈腦袋上說不定能掉個臭蟲下來。
目前遠芯的無塵室里，除了一臺光刻機之外，還有從nec那邊淘來的洋垃圾，這些洋垃圾目前勉強能切割出五英寸的晶圓。再加上蝕刻和光刻等一套設備，在不計成本低的情況下，遠芯實驗室倒也能搗鼓出幾顆芯片來。
蘇星河笑著望向兒子：“一個晶圓廠，制程工藝、技術很重要。”
蘇遠山點了點頭：“從某種意義上說，制程工藝超越了設備。”
“國內之所以打包引進設備和工藝，一來是什么都沒有，二來也是寄望于能夠吃透技術后進行工藝升級，但現在看來這條路快失敗了。”
蘇遠山抿著嘴，望向葡萄架的盡頭，眉頭緊鎖：“制程工藝到了后面其實就是拼數理化，而我們這些基礎學科的現狀……說實話，沒有洋專家，沒有帶技術回歸的海歸，真的很難搞定。”
作為站在“人造物品”最巔峰的芯片行業，工藝技術的重要性其實要遠遠大過設備——最簡單的例子，在后世，臺積電的7nm一騎絕塵，格羅方得，三星，聯電、ti之流拍馬也追不上，intel的10nm更是跳票多年——要知道，他們可是沒有任何限制的。
至于后面三星追上，也是因為老梁過去了。
想到梁孟松蘇遠山就一陣心疼，去年梁孟松依舊沿著原先的軌跡跳槽回到了臺積電。而彼時的遠芯，是連和人家接觸的資格都沒有的……
人家是晶圓廠的制程工程師，遠芯連半條生產線都沒有，怎么挖人？
“慢慢來。”蘇星河見兒子皺眉，笑著拍了拍他的肩膀，安慰道：“聽說建國在無塵室那邊，是在研究制程技術嗎？”
“嗯，算是。我讓他摸索一下銅互連技術。”蘇遠山說著自嘲地一笑：“我們想得太遠，走的太快，現在能幫得上忙的人很少。”
這里的銅互連技術，自然指的是把集成電路互連層，用銅金屬材料取代現有的鋁金屬互連材料的一種工藝，相比較鋁，銅良好的電阻和耐溫性。是未來提高頻率的核心制程技術。
臺積電便是在0.13微米制程下搶先開發出銅互連，一舉超越了聯電。
現在蘇遠山提出概念早了將近五年。
蘇遠山當然不可能掌握銅互連工藝，但他知道方向。
由于銅在二氧化硅中擴散系數很大，同時粘附性也很弱，因此在銅互連導線外面必須要有一層阻擋層來阻擋其擴散。而為了更好地鍍銅，還需要先在制程電路上生成一層薄薄的cu籽晶層……
而生成cu籽晶層的方法，又有物理氣相沉淀和化學氣相沉淀以及原子層淀積之分。
當生成銅籽晶層后，便可進行電鍍，最后拋光完成互聯。
而目前，陳建國便在惡補相關知識，同時全國亂竄，到處拜訪相關領域的專家。
作為師弟和課題提出者，蘇遠山只能從金錢上支持他……
父子倆在辦公樓下分開，蘇星河很忙，他要做16位單片機的最后技術總結，還要幫兒子賺錢。
而蘇遠山也忙，要忙著做實驗。
如今遠芯的各個實驗室已經被安排得滿滿的。
因為除了科技園這邊要做實驗之外，電科，省大和理工等學校也紛紛提出各種實驗申請。
這些學校當然都有實驗室，但無論從設備的先進程度還是齊備程度，才剛剛建立的遠芯科技園都有著無與倫比的優勢。
以至于……現在的情況是，就算蘇遠山來物理實驗室，也得等安排。
進入實驗室，他看到霍爾效應實驗儀前有個熟悉的人。
“曲慧姐？”蘇遠山輕聲喚了一聲。
曲慧依舊一頭短發，正在和一個技術員分析數據，聞言回頭沖蘇遠山一笑：“聽說你也要做霍爾效應試驗？”
“嗯，不過沒事，我是玩票，你們忙。”蘇遠山笑道，想了想又問道：“你們做這個試驗是……干啥？”
“哦，想分析一下霍爾感應器的干擾問題。”曲慧抿著嘴走向蘇遠山：“伺服電機小組那邊做的，我過來看一看。”
“噢！那我等會。”蘇遠山頓了頓，笑道：“霍爾效應試驗儀很便宜，下次多搞幾臺。”
這時馬上有人接到：“山總，多搞幾臺原子力顯微鏡。”
又是一個聲音接到：“還有掃描電鏡。”
遠芯科技園主要有兩個比較大型的物理實驗室，其中一個光學實驗室，一個就是他這邊主要偏凝聚態物理研究的實驗室。
現在這些家伙倒是把他的凝聚態實驗室變成了個常規實驗室，各種基礎試驗做得飛起。
蘇遠山也是有點醉。
見眾人大有準備開清單的架勢，蘇遠山趕緊和曲慧道了聲別。
就在他要退出實驗室時，葉如黛的小腦袋瓜也剛好伸進門口。
“葉子？”
“小山哥。”葉如黛驚了一下，立刻開心道：“真巧。”
“嗯啊。”蘇遠山呵呵一笑，站到葉如黛身旁：“你來做實驗？”
“不是，我來問數據。”葉如黛眼波流轉，指了指最里面：“看看試驗結果和模擬功能是否對的上。”
蘇遠山含笑點頭：“那你過去，我等你，然后一起去上面看看。”
“好嘞。”葉如黛干脆地應道，快步走向最里邊。
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